在商業(yè)上應(yīng)用的玻璃基板，其主要厚度為0.7 mm及0.5m m，且即將邁入更薄（如0.4mm）厚度之制程。基本上，一片TFT- LCD面板需使用到二片玻璃基板，分別供作底層玻璃基板及彩色濾光片（COLOR FILTER）之底板使用。一般玻璃基板制造供貨商對(duì)于液晶面板組裝廠及其彩色濾光片加工制造廠之玻璃基板供應(yīng)量之比例約為1:1.1至1:1.3左右。 LCD所用之玻璃基板概可分為堿玻璃及無(wú)堿玻璃兩大類；堿玻璃包括鈉玻璃及中性硅酸硼玻璃兩種，多應(yīng)用于TN及STN LCD上，主要生產(chǎn)廠商有日本板硝子（NHT）、旭硝子（Asahi）及中央硝子（Central Glass）等，以浮式法制程生產(chǎn)為主；無(wú)堿玻璃則以無(wú)堿硅酸鋁玻璃（Alumino Silicate Glass，主成分為SiO2、Al2O3、B2O3及BaO等）為主，其堿金屬總含量在1%以下。

玻璃基板由CF和TFT組成，如圖：

玻璃基板的具體生產(chǎn)工藝

1、TFT陣列基板形成階段

TFT陣列工藝主要是清洗、成膜、然后黃光制板，再通過(guò)蝕刻工藝形成所需的圖形，然后根據(jù)光罩的數(shù)量進(jìn)行循環(huán)工藝。在這個(gè)循環(huán)過(guò)程中，必須首先送清潔過(guò)的玻璃基板進(jìn)濺射機(jī)鍍上一層金屬后，采用黃光和蝕刻工藝形成柵極、區(qū)域圖形，隋后玻璃基板經(jīng)光阻剝離并用光刻膠清洗，再以薄膜區(qū)電漿輔助化學(xué)相沉積機(jī)臺(tái)形成用作主動(dòng)區(qū)域,經(jīng)過(guò)一系列的協(xié)作.后以薄膜區(qū)化學(xué)氣相沉積楊臺(tái)上形成TFT區(qū)域保護(hù)層,挖出接角也洞,再濺鍍上一層氧化錮錫膜(ITO),再用黃光及蝕刻區(qū)制程形成畫(huà)素區(qū)域圖樣而在這循環(huán)制程中以后通TFT蝕刻制程為主要步驟.

TFT的結(jié)構(gòu)依閘,源,汲極沉積的先后順序,大致可分為四類,如圖,目前正在產(chǎn)量TFT多是以反轉(zhuǎn)堆疊式結(jié)構(gòu)為主,而因它構(gòu)造簡(jiǎn)單及制程容易則廣泛被TFT制造業(yè)者所采用,又由于制程有差異分為:1)后通道蝕刻TFT,2)后通護(hù)TFT或再稱為三層結(jié)構(gòu)TFT.TFT的制作流程關(guān)鍵步驟是蝕刻后通道端的N型非晶矽.以形成閘極可控制的通道,這一般是干蝕刻法,而造成漏電流的原因可能后通道在作干鹿記得時(shí)容易造成物摶殘留。

二，TFT-LCD形成階段

在TFT-LCD玻璃完成所有制造工藝后，再配上另一塊帶有紅、綠、藍(lán)彩色濾光膜的玻璃。先定向膜刷,定向處理,間隔物的涂布及上框膠之后將兩片玻璃上下密封，切割裂片，銳化邊緣，清潔，注入液晶并密封，最后進(jìn)行外觀檢查和電測(cè)量。最重要的步驟如下：

1. 定向處理

目前整體采用的處理方法是刷涂處理，主要是用在金屬滾軸上卷起的絨布對(duì)燒成后的定向膜進(jìn)行刷磨拋光，使液晶分子預(yù)先按一定方向取向.

2. 墊片的展開(kāi)

目的是獲得均勻的液晶厚度。如果分散密度高，可以獲得更均勻的CELL GAP。如果墊片有漏光，質(zhì)量會(huì)下降。相反，間隔物分散越低，就無(wú)法獲得均勻的 CELL GAP。也會(huì)影響質(zhì)量。因此，涂抹適量均勻的墊片非常重要。目前用灑水法控制密度比較容易。必須先噴墊片，在封CF和TFT之前封封膠組合。

3.面板切割

每塊面板都是通過(guò)TFT和CF的密封組合，然后用超硬鋼刀輥切割和壓裂得到的。

未來(lái)窄邊框的外觀、尺寸和模組外觀，薄型化發(fā)展，超硬鋼刀無(wú)法滿足要求，未來(lái)會(huì)采用激光切割方式。

4. 液晶注入

1.將玻璃與外框固定在機(jī)器上，采用直下式的方法注入液晶。注入液晶時(shí)，應(yīng)注意避免墊片斷裂和墊片聚集。

2.CELL內(nèi)部抽真空后，將CELL的液晶注入口浸入液晶槽中，然后用氮?dú)馄普婵铡?nèi)部和外部壓力差和毛細(xì)管現(xiàn)在將導(dǎo)致液晶注入到 CELL 內(nèi)部。

注入液晶時(shí)液晶的形狀和排列方式

墊片破碎：注入液晶時(shí)，液晶顆粒較大，兩塊玻璃壓在一起時(shí)破碎。

Spacer 聚集：注入液晶時(shí)，有大液晶和小液晶。因?yàn)橐壕。瑫?huì)在中間的凹槽里滾動(dòng)，幾顆碰在一起就形成了一個(gè)Spacer聚集。

5. 外觀檢查和電氣測(cè)量

LCD CELL項(xiàng)目的主要檢查是注入液晶后的對(duì)準(zhǔn)檢查，初始點(diǎn)燈檢查和最終檢查，這些檢查動(dòng)作是在視覺(jué)上進(jìn)行的。

3. LCD模組形成階段

模組制造過(guò)程包括動(dòng)態(tài)芯片玻璃基板的連接、可燒式印刷電路、壓合、密封、機(jī)箱和背光的組裝和測(cè)試。

玻璃基板的發(fā)展趨勢(shì)

1. 高分辨率 2. 高亮度 3. 廣視角 4. 低功耗 5. 制造成本低

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